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Motion in Vacuum
SEMI SlotvalveSEMI Slotvalve, Detail

SCHLITZSCHIEBER

Die VSE Vakuumtechnik hat einen partikelfreien Schieber erfunden und entwickelt, der hauptsächlich als Schlitzschieber für die Halbleiterindustrie konzipiert ist.

Er hat keine bewegten oder reibenden Teile im Vakuum, alle mechanischen Teile wie Lager, Rollen, Zylinder und dergleichen sind ausserhalb des Vakuumraumes und daher ohne Einfluss auf Partikel-erzeugung. Deshalb können diese bewegten Teile geschmiert werden. Auch keine Führungszapfen oder andere kleinere Haltevorrichtungen sind im Vakuumraum. Das System ist stark genug, alle Kräfte zu beherrschen.

Nur ein Metallbalg und der Ventilteller sind im evakuierten Raum vorhanden. Der Ventilteller und sein Dichtpartner im Gehäuse hat keine komplizierte dreidimensionalen Geometrie, sondern diese Teile sind ganz einfach flach.

Ausserdem hat dieser Schlitzschieber keine unter Pressluft stehenden Elemente wie Pneumatikzylinder im evakuierten Raum. Es besteht eine klare Trennung zwischen diesen zwei sensiblen Bereichen.

Lange Lebensdauer, sehr geringe Partikelerzeugung, kompakte Aussenabmessungen entsprechend der SEMI-Normen.

SLOT GATE VALVE

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